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多种过程气体实时配气

      —     仪表型号840(Side-Trak^TM）              

实现功能：多种过程气体实时配气，获得所需浓度的混合标气。

工艺简介：此设备为美国公司气体稀释仪(又称动态配气仪)，它通过质量流量控制器将至气瓶内的原料气混合稀释到气罐或气袋中，制得标气。可控的气流通过混合区均匀混合后进入气罐或气袋。稀释仪可以给出一段时间让混合气流在进入储藏容器前在现有的温度，压力和流量前达到平衡，多余物将被排空。整个过程经过上位机软件组态后，最终利用计算机实现全自动配气。

           该工艺可用于实验室（气相色谱仪）的定期和不定期校准，是绘制校准曲线的必备设备，为GC的准确定性提供了基础。

面临问题：动态稀释2-6个气瓶（含稀释气气瓶）内气体。由于精度等级的要求，混合时气体的质量流量必须非常精确！要将级的各种原始标气，根据要求不同，实时配置成ppt级的低浓度标气。同时还需要在整个制样过程中实时监控压力、流量等。该工艺的重要环节是需要一款不受温度、压力波动影响的高精度、高重复性的气体质量流量控制器。

解决方案：采用840 (Side-Trak ^TM模拟式气体质量流量控制器（耐腐蚀型；±1.0%满量程），安装于支路对多种过程气体进行精准控制，其精确度、可靠度、稳定性方面表现十分优秀，得到了使用设备商的一致认可。

工况参数： 介质：Air、N2、O2、CO2、H2、Ar；温度30℃；流量：10SCCM、50SCCM、50SCCM、50SCCM、100SCCM和5000SCCM；1/4英寸卡套接口；

使用时间：2008年9月

仪表参数：

       • 精度：±1%满量程及线性度

       • 专利的直传感器管道使清洁简单且缩短了维修停用期

       • 流量范围：0~500slpm

       • 可清洁传感器技术

       • 气体：大多数清洁气体和腐蚀性气体

       • 标定证书(NIST溯源)

       • CE认证