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多种过程气体实时配气

      —     Sierra仪表型号C100L (Smart-Trak^TM）              

实现功能：多种过程气体实时配气。

工艺简介：多种过程气体在定量的情况下混合配比生成催化剂。

面临问题： 生成催化剂的过程气体的百分比是确定的，这就要求气体流量控制器对各支路过程气体精确的控制，其中一路或多路过程气体的流量控制不稳定将导致生成的催化剂质量大幅下降，影响其生产效率及成品合格率。所以采用高精度，高稳定性的气体流量控制器在该工艺中起主导作用。

解决方案：采用Sierra C100L (Smart-Trak^TM）数字式气体质量流量控制器（±1.0%满量程），安装于支路对多种过程气体进行精确控制，其高精度、高稳定性满足了现场的要求，并且多种过程气体实时配比生成的催化剂质量及成品效率均有所提高。仪表的高可靠性得到了他们的认可。

工况参数：多种过程气体控制；温度21℃；流量：0～10 slpm；1/4英寸卡套接口；

使用时间：2009年

仪表参数：

       • 精度：±1%满量程及线性度(高精度: ±0.7%读数加上±0.3%的满量程)

       • 高精度及高可靠性的气体质量流量计

       • 流量范围：0~1000slpm

       • Dial-A-Gas技术提供客户10种气体切换

       • 气体：所有清洁气体，包括腐蚀性气体和有毒气体

       • 标定证书(NIST溯源)

       • CE认证