正版刘伯温免费资料大全（中国）股份制公司

石英玻璃拉制氢氧配比

      —     Sierra仪表型号C100M (Smart-Trak^TM）              

实现功能：石英玻璃拉制氢氧配比。

工艺简介：四氯化硅蒸气经载体氢或氧带入氢氧焰，在火焰中被水解而生成无定形二氧化 硅和氯化氢及其他氯的生成物。气态生成物在高温下挥发，而二氧化硅则沉积在基础杆的料板（靶面）上，用火焰加热到1600℃左右，被熔融成高纯石英玻璃。

面临问题：现场使用差压原理的流量控制器和其他品牌的微管式质量流量控制器，氢氧配比燃烧时，波动较大，稳定性比较差，高流量时控制不稳，导致生成的高纯石英玻璃质量大幅下降，影响其生产效率。所以采用高精度，高稳定性的气体流量控制器在该工艺中起主导作用。

解决方案：采用Sierra C100M (Smart-Trak^TM_）数字式气体质量流量控制器（±1.0%满量程），安装于气管各支路对氢氧过程气体进行精确控制，其高精度、高稳定性满足了现场的要求，并且氢氧过程气体实时配比生成的高纯石英玻璃质量及成品效率均有所提高。仪表的高可靠性得到了他们的认可。

工况参数：氢氧过程气体控制；温度21℃；流量：0～300 slpm；1/2英寸卡套接口；

使用时间：2011年8月

仪表参数：

       • 精度：±1%满量程及线性度(高精度: ±0.7%读数加上±0.3%的满量程)

       • 高精度及高可靠性的气体质量流量计

       • 流量范围：0~1000slpm

       • Dial-A-Gas技术提供客户10种气体切换

       • 气体：所有清洁气体，包括腐蚀性气体和有毒气体

       • 标定证书(NIST溯源)

       • CE认证